بررسی اثر میرایی ترموالاستیک در مدل غیرخطی تشدیدکننده های میکروالکترومکانیکی با روش تربیع دیفرانسیلی

در این مقاله، یک مدل غیرخطی میکروتیر دو سر گیردار تحت اثر بار الکترواستا ت یک، اثر ات کشش درون صفح های و میرایی ترموالاستیک در نظر گرفته شده است. فرکانس ارتعاش آزاد با استفاده از گسسته سازی براساس روش تربیع دیفرانسیلی به دست آمده، که به دلیل اتلاف انرژی ناشی از میرایی ترموالاستیک، این فرکانس کمیتی مختلط است. با تفکیک مقادیر حقیقی و موهومی فرکانس می توان ضریب کیفیت میرایی ترموالاستیک را محاسبه کرد. اثرات کشش درون صفحه ای و میرایی ترموالاستیک در مقایسه با نتایج مقالات مرجع صحه گذاری شدند. تغییرات میرایی ترموالاستیک برحسب مدول الاستیسیته، ضریب انبساط گرمایی و متغیرهای هندسی شامل ضخامت، طول و فاصله خازنی بررسی شده و نتایج مدلهای خطی و غیرخطی در ولتاژهای بالا مقایسه شده اند. همچنین نشان داده شده است که در ولتاژهای بالا مدل خطی در محاسبه میرایی ترموالاستیک خطای زیادی دارد و در این ولتاژها باید از مدل غیرخطی استفاده شود.