لایه نشانی و بررسی خواص لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر پنجره مادون قرمز سیلیکونی

پنجره های مادون قرمز به عنوان محافظ سامانه های الکترواپتیک در صنایع هوایی و فضایی مورد استفاده قرار می گیرند. با این حال این پنجره ها تحت تاثیر شرایط نامساعد محیطی قرار گرفته و در نتیجه عملکرد سامانه های الکترواپتیک نیز دچار اختلال می شود. اعمال پوشش های محافظ بر پنجره های مادون قرمز باعث افزایش عملکرد این پنجره ها خواهد شد. در این تحقیق لایه نازک کربن شبه الماسی با استفاده از دو گاز هیدروژن و متان به روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به کمک پلاسما با منبع تغذیه فرکانس رادیویی(RF-PECVD) بر سطح پنجره های مادون قرمز سیلیکونی اعمال گردید. ارزیابی ساختاری پوشش با استفاده از آنالیز پراش سنجی پرتوایکس و طیف سنجی رامان صورت گرفت. به منظور تعیین ضریب شکست لایه نازک کربن شبه الماسی روش بیضی سنجی مورد استفاده قرار گرفت. طیف بازتاب نمونه ها با استفاده از دستگاهUV-Vis-NIR recording spectrophotometer و همچنین برای اندازه گیری طیف عبور از روش طیف سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز استفاده شد. تست سایش ملایم و شدید نیز با هدف بررسی مقاومت سایشی پوشش صورت گرفت. نتایج نشان داد با اعمال لایه نازک کربن شبه الماسی میزان عبور بستره های سیلیکونی افزایش یافته است. همچنین نتایج تست سایش نشان داد کربن شبه الماسی با ضخامتnm 540 در برابر سایش ملایم و شدید مقاوم بوده و عبور نمونه ها در اثر سایش کاهش نیافته است