اندازه گیری دما و بررسی گذار مد E به H در پلاسمای ICP تحت خلا

در این مقاله ابتدا به شرح اجمالی دستگاه ساخته شده مولد پلاسمای القایی 56.13ICP- (فرکانس کاری  MHz56/13) که شامل دو مشعل تحت خلا و فشار اتمسفری می باشد، می پردازیم. سپس با تمرکز بر عملکرد مشعل تحت فشار خلا، مشخصه یابی دمایی پلاسما و وقوع پدیده گذار از مد E به H در اثر تغییر پارامترهای آزمایش شامل فشار اولیه و توان اعمالی بر روی پلاسما مورد بحث قرار می گیرند. بر اساس اندازه گیری های طیف سنجی انجام شده برای گاز آرگون در فشارmbar  4 و به ازای توان ورودی RF W400 دمای تحریک الکترونی پلاسما به روش ترسیم بولتزمن حدود 11636 به دست آمد. هم چنین، با استفاده از معادلات حاکم بر میدان های الکترومغناطیس در پلاسمای ICP، تصحیحات امپدانس سیستم در اثر استتار پلاسما و هم چنین رابطه توان جذب شده با چگالی پلاسما و فشار زمینه به دست آمده است. بر اساس این روابط، رفتار منحنی های بار مورد تحلیل قرار گرفت و بروز پدیده گذار از مد E به H در این منحنی ها استنتاج گردید.