Characterization of Sputtered NiTi Shape Memory Alloy Thin Films
Author(s):
Abstract:
During recent years, many investigations have been carried out to determine how to select di erent materials for the making of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) and bio-MEMS. The NiTi shape memory alloy thin lm has been much regarded as a promising candidate for MEMS due to its unique shape memory e ect and high energy output. In this research, NiTi thin lm was fabricated using a sputtering technique from separate elemental Ni and Ti targets. The characterizations of the deposited lms were investigated using di erent analysis techniques, such as Field Emission SEM, DSC, XRD, electrical resistivity measurement and nanoindentation. Keywords: NiTi thin lm; Sputtering; Characterization; Shape memory e ect.
Language:
English
Published:
Scientia Iranica, Volume:16 Issue: 3, 2009
Page:
248
magiran.com/p652528
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یکساله به مبلغ 1,390,000ريال میتوانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
- حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران میشود.
- پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانههای چاپی و دیجیتال را به کاربر نمیدهد.
In order to view content subscription is required
Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!