The effect of TiO2 thin film on AC electrical properties of Nano porous silicon substrate
Author(s):
Abstract:
The AC electrical behaviour of nano porous silicon (PSi) with TiO2 thin films was examined over the range of frequency 102 to 105 Hz. Porous silicon (PSi) layers were obtained by electrochemical etching in HF solution and TiO2 thin films were deposited on PSi substrates by using electron beam evaporation technique at room temperature. The porosity of PSi layer was found by using the gravimetric method and the crystalline properties of the TiO2 thin films were obtained by an X-ray diffract meter. The surface morphology and AC electrical properties of samples were investigated by scanning electron microscopy (SEM) and electrometery respectively. For AC electrical properties we studied the dependence of capacitance and dissipation factor on frequency at different temperatures. The capacitance decreased with increasing frequency and increased with increasing temperature, and dissipation factor decreased with increasing frequency to a minimum value and after that increased. This behaviour is in good agreement with Goswami''s theory. Also, the AC conductivity of sandwich structure films was studied over the range of frequency 102 to 105 Hz. Over the range of frequency<103Hz the band theory and over the range of frequency>103Hz hopping mechanism is applied in explaining the conductivity process.
Keywords:
Language:
English
Published:
Iranian Journal of science and Technology (A: Siences), Volume:38 Issue: 1, Winter 2014
Pages:
19 to 23
magiran.com/p1243265
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یکساله به مبلغ 1,390,000ريال میتوانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
- حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران میشود.
- پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانههای چاپی و دیجیتال را به کاربر نمیدهد.
دسترسی سراسری کاربران دانشگاه پیام نور!
اعضای هیئت علمی و دانشجویان دانشگاه پیام نور در سراسر کشور، در صورت ثبت نام با ایمیل دانشگاهی، تا پایان فروردین ماه 1403 به مقالات سایت دسترسی خواهند داشت!
In order to view content subscription is required
Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!