مدل سازی و محاسبه ی ضریب کیفیت اتلاف تکیه گاه در مد ارتعاشی شناور تشدیدگر مستطیلی میکرومکانیکی با دو تیر نگهدارنده T شکل

تشدیدگرهای میکرومکانیکی قطعات کوچکی هستند که در فرکانس های بالا ارتعاش می کنند. امروزه با پیشرفت های انجام شده در زمینه ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی، این تشدیدگرها در حسگرها، سیستم های ارتباطی بی سیم و ناوبری کاربرد گسترده ای یافته اند. مکانیزم های رایج اتلاف انرژی در تشدیدگرهای میکرومکانیکی شامل اتلاف هوا، اتلاف ترموالاستیک و اتلاف تکیه گاه می شوند. در این مقاله با توجه به غالب بودن مکانیزم اتلاف تکیه گاه در کاربردهای مهمی نظیر نوسان سازها، فیلترهای الکتریکی و ژیروسکوپ ها، رابطه ضریب کیفیت اتلاف تکیه گاه در مد ارتعاشی شناور تشدیدگر مستطیلی میکرومکانیکی با دو تیر نگهدارنده محاسبه و برای اعتبارسنجی از مطالعات آزمایشگاهی استفاده می شود. نتایج به دست آمده با نتایج آزمایشگاهی مطابقت قابل قبولی داشته و درستی مدل سازی انجام شده را نشان می دهد. همچنین این نتایج نشان می دهند که ضریب کیفیت اتلاف تکیه گاه با افزایش ضخامت زیرلایه افزایش می یابد. علاوه بر این، طرح جدیدی برای افزایش ضریب کیفیت اتلاف تکیه گاه در مد ارتعاشی شناور تشدیدگرهای مستطیلی میکرومکانیکی پیشنهاد می شود. برای این منظور، از تیرهای T شکل به جای تیرهای نگهدارنده معمولی استفاده شده و محاسبات انجام شده نشان می دهند که ضریب کیفیت تشدیدگر در فرکانس تشدید یکسان در حدود 1/5 برابر افزایش می یابد.