Microstructure and properties of vanadium oxide (VOx) thin films prepared in a reactive magnetron sputtering system
Message:
Abstract:
Vanadium oxide (VOx) thin films prepared in a direct current magnetron sputtering system. In order to get different vanadium oxide phases the films anneled under different temperature and atmospheres. At first vanadium oxide (VOx) thin films annealed at two temperatures of 450 and 500oC. Mixed structure of VO2 and V2O5 phases formed in both samples while VO2 phase was the main phase at 450oC and changed to V2O5 phase at annealing temperature of 500oC. In the next step vanadium oxide (VOx) thin films prepared under two sputtering pressures of 2 and 5 torrand then annealed at 450oC. The results revealed that sputtering pressure doesnot have a big impact on crystal structure of vanadium oxide thin films. However، vanadion oxide thin films that prepared at lower sputtering pressure shows smaller grain size and higher hardness and Young،s modulus. Then the effects of annealing atmosphere (air and oxygen atmospheres) on microstructure and properties of vanadium oxide thin films that prepared at sputtering pressure of 2 torr and anneled at 450oC was investigated. It was shown that annealing atmospheredoesnot affect crystal structure of the films while mixed structure of VO2 and V2O5 in both samples. There is a possibility that some phases have been formd in amorphous. Vanadium oxide (VOx) thin film which anneled under oxygen، showed smaller grain size and better mechanical properties. The results of current study showed that deposition and annealing conditions have a big impact on microstructure and mechanical properties of vanadium oxide (VOx) thin film.
Language:
Persian
Published:
Iranian Journal of Ceramic Science & Engineering, Volume:3 Issue: 3, 2014
Page:
11
magiran.com/p1386525  
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 990,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
دسترسی سراسری کاربران دانشگاه پیام نور!
اعضای هیئت علمی و دانشجویان دانشگاه پیام نور در سراسر کشور، در صورت ثبت نام با ایمیل دانشگاهی، تا پایان فروردین ماه 1403 به مقالات سایت دسترسی خواهند داشت!
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 50 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!