معرفی و بررسی عملکرد تشدیدگرهای میکرومکانیکی

امروزه با پیشرفت های صورت گرفته در زمینه ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی، قطعات میکرومکانیکی کاربردهای گسترده تری یافته اند. از جمله این قطعات پرکاربرد، تشدیدگرهای میکرومکانیکی است. تشدیدگرهای میکرومکانیکی ابعادی کوچک و فرکانس های تشدید بالایی دارند. امروزه از این تشدیدگرها در سیستم های ارتباطی بی سیم و ناوبری، فیلترها، میکروسکوپ اتمی، ژیروسکوپ های ارتعاشی، حسگرهای جرم، فشار، کرنش، نیرو، شتاب ، دما و زیستی استفاده می شود. با توجه به اهمیت و کاربرد گسترده تشدیدگرها، در این مقاله، نخست انواع تشدیدگرها، کاربردها، مزایا، نحوه عملکرد آنها در سیستم های ارتعاشی، مواد سازنده و انواع روش های تحریک و تشخیص در آنها معرفی پس از آن پارامتر ضریب کیفیت و نحوه محاسبه آن تشریح می شود. در ادامه انواع سازوکارهای اتلاف انرژی، مدهای ارتعاشی و پارامتر مقاومت حرکتی در تشدیدگرها توضیح داده می شود و در نهایت مشخصات انواع تشدیدگرهای متداول ارائه می گردد.