اندازه گیری هیدروژن در عمق نمونه سیلیکان متخلخل به روش آشکارسازی ذرات پس زده از برخورد کشسان

سیلیکان متخلخل (PS) از حل الکتروشیمیایی سیلیکان در محلول HF+DMF به دست می آید. در فرایند تشکیل حفره ها در سیلیکان، ترکیبات هیدروژن دار در سطح دیواره های حفره ها ایجاد می شوند. در این تحقیق با اندازه گیری میزان هیدروژن در عمق نمونه PS، توزیع تخلخل در عمق نمونه تخمین زده شده است. با توجه با ناکارآمدی نرم افزارهای شبیه سازی متداول آنالیز با باریکه یونی، برنامه مناسبی برای شبیه سازی به روش مونت-کارلو نوشته شد تا نزدیک ترین توزیع به نتیجه آزمایش به دست آید. غلظت هیدروژن در عمق نمونه متناسب با میزان تخلخل در نظر گرفته شده است. نتیجه به دست آمده نشان می دهد که بیشترین تخلخل برای نمونه 90% بوده است که در عمق nm 139- 69 ایجاد شده است.