اثر غلظت متان و دما درتعداد لایه های گرافین فوم سنتز شده به روش CVD

در این پژوهش گرافین فوم(GF) کم لایه به روش رسوب دهی بخار شیمیایی(CVD) سنتز شد و اثر غلظت متان و دمای سنتز مورد مطالعه قرار گرفت. با تغییر غلظت گاز عامل(متان) با مقادیر 0.5، 0.6، 0.7، 1 و 1.5 sccm (standard cubic centimeters per minute) به ترتیب گرافین فوم با تعداد لایه های 2، 4، 6، 11 و25 بدست آمد. همچنین با تغییر دمای سنتز CVD در دماهای 900، 1000 و 1120 درجه سانتی گراد به ترتیب گرافین فوم 23، 10 و 6 لایه تولید شد. تصاویر بدست آمده از میکروسکوپ روبشی الکترونی(SEM) کیفیت ساختار متخلخل GF را نشان می دهد. طیف سنجی رامان برای تایید تشکیل گرافین و ارتباط بین تعداد لایه های GF با تغییر غلظت گاز متان و دمای سنتز بکار گرفته شد. نتایج بدست آمده از طیف سنجی رامان نشان می دهد، تغییر غلظت گاز عامل(متان) و دمای سنتز عوامل مهم در تعیین تعداد لایه های گرافین کم لایه هستند. با کاهش غلظت گاز متان به sccm6/0 و افزایش دمای سنتز به 1120 درجه سانتی گراد نمونه GF دولایه سنتز شد.