مطالعه فازی پوشش نانوساختار چند لایه نیترید کروم آلومینیوم تولیدشده به روش رسوب فیزیکی بخار

پیام:
چکیده:
در پژوهش حاضر، پوشش های نانوساختار نیترید کروم- آلومینیوم تولید شده به روش رسوب فیزیکی بخار قوس کاتدی در مقیاس صنعتی مورد ارزیابی ساختاری و فازشناسی قرارگرفت. ریزساختار توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی و آنالیز پوشش ها با استفاده از میکروآنالیز طیف سنجی تفکیک انرژی و آزمون های پراش پرتو ایکس مطالعه گردید. بافت کریستالوگرافی پوشش ها با محاسبه ضریب بافت از روی الگوهای پراش محاسبه شد و بافت 222 شناسایی گردید. یافته های آزمایش نشان می دهد پوشش های نیتریدی چندلایه CrN/CrAlN ساختاری نانو کریستال با اندازه کریستالیت ها در محدوده 8 تا 18 نانومتر دارند. فازیابی پوشش ها توسط پراش پرتو ایکس نشان داد که CrN فاز اصلی است و اضافه شدن آلومینیوم در شبکه، پوشش CrAlN را ایجاد می کند که باعث جابجاشدن پیک ها می شود. در شرایط عدم کنترل دقیق عوامل فرآیندی، فاز Cr2N و با افزایش تبخیر آلومینیوم، فراتر از یک حد مشخص، فاز AlN نیز پدیدار می گردد. حل شدن مقادیر متفاوت آلومینیوم و جابجایی نسبتا زیاد خطوط پراش، فازیابی این نوع پوشش های نیتریدی را با چالش همراه کرده است، لذا شناسایی فازهای موجود در پوشش فقط با نرم افزار اکسپرت میسر نیست و به اطلاعات کریستالی فازها نیاز دارد.
نوع مقاله:
مقاله پژوهشی/اصیل
زبان:
فارسی
صفحات:
93 -105
لینک کوتاه:
magiran.com/p1953529 
برخی از خدمات از جمله دانلود متن مقالات تنها به مشترکان مگیران ارایه می‌گردد. شما می‌توانید به یکی از روش‌های زیر مشترک شوید:
اشتراک شخصی
در سایت عضو شوید و هزینه اشتراک یک‌ساله سایت به مبلغ 300,000ريال را پرداخت کنید. همزمان با برقراری دوره اشتراک بسته دانلود 100 مطلب نیز برای شما فعال خواهد شد!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی همه کاربران به متن مطالب خریداری نمایند!
توجه!
  • دسترسی به متن مقالات این پایگاه در قالب ارایه خدمات کتابخانه دیجیتال و با دریافت حق عضویت صورت می‌گیرد و مگیران بهایی برای هر مقاله تعیین نکرده و وجهی بابت آن دریافت نمی‌کند.
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.