طراحی گیج خلا یونی کاتد گرم به صورت آرایه مبتنی بر MEMS

پیام:
نوع مقاله:
مقاله پژوهشی/اصیل (دارای رتبه معتبر)
چکیده:
اندازه گیری خلا  HVو UHV تا فشار 12-10 تور از سال 1950 میلادی تاکنون با گیج یونی کاتد گرم موسوم به "بایارد آلپرت" انجام می گیرد. کارهای تحقیقاتی انجام شده روی گیج یونی نوع MEMS کافی نبوده و تاکنون تجاری سازی نشده است. در این مقاله انواع حس گر خلا نوع MEMS و غیر MEMS که بتوانند خلا HV و UHV را اندازه بگیرند، معرفی می شوند. این مقاله یک ایده گیج خلا یونی مبتنی بر فناوری MEMS به صورت آرایه و نیز طراحی و شبیه سازی آن را ارائه می کند. اندازه گیج یونی پیشنهادی 3×1.2mm5×1 بوده و حداقل 3000 برابر کوچک تر از نوع مرسوم (بایارد آلپرت) است. مصرف توان الکتریکی در این طرح 50 برابر کمتر از نوع مرسوم است. ساختار طرح پیشنهادی شامل کلکتور، کاتد و شبکه آند از نوع مرسوم متفاوت بوده و مبتنی بر فناوری MEMS است. کاتد در این طرح از جنس نیکل بوده و می تواند در دمای °C750 الکترون فکنی نماید. طرح کاتد طوری است که دما در طول آن تقریبا یکنواخت و مستقل از فشار خلا است. طرح پیشنهادی دارای ضریب حساسیت 0.6 در محدوده اندازه گیری 3-10 الی 7-10×2 تور است. ضریب حساسیت در این طرح 20 برابر کمتر از نوع مرسوم است که عیب این طرح را نشان می دهد.
زبان:
فارسی
صفحات:
317 تا 329
لینک کوتاه:
magiran.com/p1971407 
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 990,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
دسترسی سراسری کاربران دانشگاه پیام نور!
اعضای هیئت علمی و دانشجویان دانشگاه پیام نور در سراسر کشور، در صورت ثبت نام با ایمیل دانشگاهی، تا پایان فروردین ماه 1403 به مقالات سایت دسترسی خواهند داشت!
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 50 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!