New Design of Mems piezoresistive pressure sensor
Message:
Abstract:
The electromechanical analysis of a piezoresistive pressure microsensor with a square-shaped diaphragm for low-pressure biomedical applications is presented. This analysis is developed through a novel model and a finite element method (FEM) model. A microsensor with a diaphragm 1000 „m length and with thickness=400 µm is studied. The electric response of this microsensor is obtained with applying voltage into senseor in p-type piezoresistors located on the diaphragm surface. The diaphragm that is 10 „m thickexhibits a maximum deflection of 3.74 „m using the designed model, which has a relative difference of 5.14 and 0.92% with respect to the comsol model, respectively. The maximum sensitivity and normal stress calculated using the this model are 1.64 mV/V/kPa and 102.1 MPa, respectively. The results of the polynomial model agree well with the Timoshenko model and FEM model for small deflections. In addition, the designed model can be easily used to predict the deflection, normal stress, electric response and sensitivity of a piezoresistive pressure microsensor with a square-shaped diaphragm under small deflections.
Language:
English
Published:
Journal of Artificial Intelligence in Electrical Engineering, Volume:7 Issue: 25, Spring 2018
Pages:
33 to 39
magiran.com/p2002817  
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 990,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
دسترسی سراسری کاربران دانشگاه پیام نور!
اعضای هیئت علمی و دانشجویان دانشگاه پیام نور در سراسر کشور، در صورت ثبت نام با ایمیل دانشگاهی، تا پایان فروردین ماه 1403 به مقالات سایت دسترسی خواهند داشت!
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 50 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!