The effect of sputtering RF power on structural, optical and electrical properties of CuO and CuO2 thin films
Message:
Article Type:
Research/Original Article (دارای رتبه معتبر)
Abstract:
In this paper, the RF power change effect on the structural, optical and electrical properties of CuO thin films prepared by RF reactive magnetron sputtering deposited on glass substrates are studied. At first, the thin films are prepared at 150, 280, 310 and 340W respectively. Then, the films are characterized by XRD, AFM, Uv-visible and four-point probe analysis respectively. The results show that the crystallite size and lattice constant of samples increased from about 20 nm to 59 nm and 4.15 to 4.51 respectively with an increase in RF power from 150 to 340W. The AFM and four-point analysis results show that the samples deposited at 150 and 340W have smooth surfaces and more surface electrical resistance than the samples deposited at 280 and 310W because the dominant phase of samples prepared at 150 and 340W are CuO2 and 280 and 310 are CuO respectively. Also, the results indicate the energy band gap increased from about 2.25 to 2.52eV with an increase in RF power from 150 to 340W and the extinction coefficient of samples prepared at 150W is more than samples prepared at 340W in all of the wavelength.
Language:
English
Published:
Journal of Nano Structures, Volume:9 Issue: 2, Spring 2019
Pages:
230 to 237
magiran.com/p2011685  
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 990,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
دسترسی سراسری کاربران دانشگاه پیام نور!
اعضای هیئت علمی و دانشجویان دانشگاه پیام نور در سراسر کشور، در صورت ثبت نام با ایمیل دانشگاهی، تا پایان فروردین ماه 1403 به مقالات سایت دسترسی خواهند داشت!
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 50 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!