influence of nitrogen amount on structural , morphological properties of WN thin films
Message:
Article Type:
Research/Original Article (ترویجی)
Abstract:
Tungsten nitride (WXN) thin films with crystalline structure were deposited by reactive Chemical Vapor Deposition (CVD) technique at different mixture of N2 and Ar mixture gases. Experimental data demonstrated that different N2 concentration in gas mixture, strongly affect microstructure, phase formation, grain size and texture morphology of the WXN films. According to XRD spectra, growth of tungsten nitride films promoted hexagonal WN phase for lower N2 concentration in gas mixture (N2=10%, N2=30% and N2=50%) and layers have non- homogenous morphology with rough surface. At higher N2 concentration (N2=80% and N2=100%) a phase transition was happened and two hexagonal WN and cubic W2N crystalline phases were observed. It seems that nitrogen concentration has strong effect on preferred growth orientation .The layers have smooth surfaces with low roughness. SEM micrographs for deposited films at lower nitrogen concentration in gas mixture, indicated a definite dense columnar nanostructure and non-columnar at higher nitrogen amount.
Language:
Persian
Published:
journal of Applied Physics, Volume:8 Issue: 1, 2018
Pages:
47 to 59
magiran.com/p2016209  
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 990,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
دسترسی سراسری کاربران دانشگاه پیام نور!
اعضای هیئت علمی و دانشجویان دانشگاه پیام نور در سراسر کشور، در صورت ثبت نام با ایمیل دانشگاهی، تا پایان فروردین ماه 1403 به مقالات سایت دسترسی خواهند داشت!
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 50 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!