Design and Simulation of a Dual-Mode Resonant Temperature Sensor based on MEMS Technology
Message:
Abstract:

In this paper, a dual-mode (DM) micromechanical elliptical ring resonator for use in temperature sensing is reported. The proposed resonator is made of single crystal silicon and works based on beat frequency (fb). In the designed sensor, temperature coefficient of beat frequency (TCfb) will be increased significantly by minimizing the fb and provides better temperature sensitivity. This proposed device was designed and simulated by COMSOL Multyphysics software. By engineering the device geometry, we introduce two adjacent resonant frequencies which produce very small fb in the range of 2 kHz. The device shows TCf1 of about 44 ppm/ºC and TCf2 of 5 ppm/ºC. Combination of small fb and large ΔTCf, present temperature coefficient of beat frequency (TCfb) about 112000 ppm/ºC which has approximately 75× improvement in TCfb compared to previous demonstrated DM resonators.

Language:
English
Published:
Majlesi Journal of Telecommunication Devices, Volume:8 Issue: 4, Dec 2019
Pages:
155 to 159
magiran.com/p2082415  
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 990,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
دسترسی سراسری کاربران دانشگاه پیام نور!
اعضای هیئت علمی و دانشجویان دانشگاه پیام نور در سراسر کشور، در صورت ثبت نام با ایمیل دانشگاهی، تا پایان فروردین ماه 1403 به مقالات سایت دسترسی خواهند داشت!
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 50 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!