مروری بر متداولترین روشهای سنتز و فرآور ی فیلمهای نازک اکسید روی

در این پژوهش به بررسی متداول ترین روش های سنتز و فرآوری فیلم های نازک اکسید روی پرداخته شده است. فیلم های نازک اکسید روی به دلیل مقاومت پایین، خواص پیزوالکتریکی مناسب، شفافیت بالا در ناحیه مریی و وجود جنبه های تزیینی، دارای کاربردهای وسیعی در ادوات نیمه رساناها، دستگاه های موج آکوستیکی و وسایل اپتیکی - آکوستیکی می باشند. درمجموع فیلم های نازک اکسید روی دارای ویژگی های اپتیکی و الکتریکی خوبی بوده و همچنین هزینه های ساخت پایینی دارند. روش های رسوب گذاری متفاوتی مانند کند و پاش، رسوب گذاری باریکه مولکولی، رسوب گذاری فاز بخار، تبخیر حرارتی، تبخیر واکنشی، رسوب گذاری بخار شیمیایی، اسپری پایرولیزر و فرآیند سل - ژل برای ساخت فیلم های نازک اکسید روی به کار می روند.