Study of effect of annealing temperature on optical density, topography and structural properties of zinc oxide films and zinc oxide films doped with aluminum
Message:
Article Type:
Research/Original Article (دارای رتبه معتبر)
Abstract:

The ZnO films and ZnO films doped with Al were deposited on glass substrates by radio frequency magnetron sputtering at room temperature. Films were annealed in an electrical furnace with Ar atmosphere at three different temperatures 400, 500, and 600 oC. The values of optical density of ZnO films were greater than respect to ZnO films doped with Al. With increasing annealing temperature, the lateral size values of nanoparticles for ZnO films were increased. The ZnO films annealed at 400 ⁰C have minimum value of the nanoparticles lateral size in about of 22.59 nm.  The ZnO films doped with Al and annealed at 600 ⁰C have maximum value of the nanoparticles lateral size in about of 22.59 nm.  Changes in the height of the scanned surface of the layers indicated that the zinc oxide film has a sharp jump of 25nm at room temperature. Also, the ZnO films doped with aluminum at 600 °C have less ups and downs than other temperatures and the height is around 6 nm. With increasing the annealing temperature, the fractal dimensions’ values of the zinc oxide films were decreased.

Language:
Persian
Published:
Iranian Journal of Ceramic Science & Engineering, Volume:10 Issue: 1, 2021
Pages:
59 to 70
magiran.com/p2300280  
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 990,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
دسترسی سراسری کاربران دانشگاه پیام نور!
اعضای هیئت علمی و دانشجویان دانشگاه پیام نور در سراسر کشور، در صورت ثبت نام با ایمیل دانشگاهی، تا پایان فروردین ماه 1403 به مقالات سایت دسترسی خواهند داشت!
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 50 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!