مطالعه تحولات ساختاری لایه نازک کربن آمورف انباشت شده بر آلیاژ نیکل- مس با تغییر دمای انباشت و انرژی پرتوی یون

در تحقیق حاضر لایه نازک کربن آمورف با استفاده از روش کندوپاش پرتوی یونی بر شیشه و آلیاژ نیکل- مس ایجاد و همبستگی تحولات ساختاری کربن آمورف با انرژی جنبشی اتم های کربن در مرحله تشکیل پیوند با اتم های دیگر بررسی شده است. تاثیر جنس زیرلایه، دمای انباشت و انرژی پرتوی یون بر تحولات ساختاری لایه های انباشت شده نیز بررسی شده است. نتایج بررسی طیف‏ سنجی رامان نشان دهنده تحولات ساختاری لایه نازک کربن آمورف به سمت کربن شبه الماسی (DLC) با افزایش دمای انباشت تا 100 درجه سانتی گراد و انرژی پرتوی یون از دو به پنج کیلوالکترون ولت است. اندازه خوشه های گرافیتی با پیوند sp2 کوچک تر از یک نانومتر در لایه ‏های کربن آمورف انباشت شده بر آلیاژ نیکل- مس است. نتایج محاسبه تنش پسماند با استفاده از دستگاه پراش پرتوی ایکس (XRD) نشان‏ دهنده روند کاهشی میزان تنش پسماند کششی لایه نازک کربن آمورف با افزایش انرژی پرتوی یون است.