آشمارسازی گازهای قابل اشتعال توسط حسگر مقاومتی اکسید قلع ساخته شده به روش تبخیر با باریکه ی الکترونی

در این نوشتار حساسیت حسگر گاز مقاومتی که از لایه ی نازک اکسید قلع, ساخته شده نسبت به چند گاز قابل اشتعال مورد بررسی قرار گرفته است. به این منظور لایه ی نازک اکسید قلع آمورف به روش تبخیر توسط باریکه ی الکترونی در خلا بر روی زیر پایه ی کوارتز نشانده شد. فرایند تبلور لایه ی حاصل در دمای 300C به مدت 140 دقیقه صورت گرفت. ریزساختار لایه ها با XRD بررسی و اندازه ی متوسط دانه های متبلور اکسید قلع 13nm برآورد شد. نهایتا با برقراری اتصالات اهمی و نصب یک ریزگرمکن الکتریکی, نمونه ی حسگر گاز مقاومتی ساخته شد. تغییر هدایت الکتریکی حسگرهای نمونه در حضور مقادیر مختلفی از گازهای هدف در هوا ثبت, و حساسیت نمونه ها نسبت به...