فیلم های نانوحفره ای و نانوساختاری مهندسی شده

چکیده:
فیلم های نانوحفره ای و نانوساختاری اهمیت روزافزونی در صنایع میکروالکترونیک و فتونیک یافته اند. آنها راهی به سمت مواد با ثابت دی الکتریک پایین هستند، که پایه ای برای نسل های آتی ریزپردازنده های قدرتمند هستند. آنها تنها مسیر دستیابی به مواد با ضریب شکست کمتر از 1/2 (یک ویژگی الزامی برای توسعه آتی قطعات بلور فتونیک)، انعکاس دهنده های تمام جهت پیشرفته، روکش های ضدانعکاس پیشرفته و جاذب های جسم سیاه هستند. علاوه بر این، این فیلم ها توانمندی بسیار بالایی را در مصارف جداسازی، کاتالیزوری، مهندسی پزشکی و انتقال حرارت نمایش داده اند. در این مقاله ضمن مرور دو روش ابتدایی ساخت این فیلم ها یعنی خودآرایی مبتنی بر تبخیرسازی و رسوب دهی با زاویه مورب یا خراشان، برخی از ویژگی های این فیلم ها که در صنایع میکروالکترونیک و فتونیک حیاتی هستند، مورد بحث قرار خواهند گرفت.
زبان:
فارسی
در صفحه:
28
لینک کوتاه:
https://www.magiran.com/p697683