سنتز کنترل شده میکروساختارهای دوبعدی منظم در پلاسماهای فعال با چگالی بالا

پیام:
چکیده:
هدف از این کار، بررسی دینامیک یون ها، الکترون ها و نانوذرات باردار درون غلاف پلاسمای غباری، به منظور تعیین شرایط مناسب جهت نهشت کنترل شده و گزینشی ذرات پلاسما روی سطح یک زیرلایه طرح دار شامل آرایه ای ازمیکروساختارهای منظم است. روش مورد استفاده در این مطالعه، شبیه سازی عددی معادلات سیالی توصیف کننده دینامیک ذرات پلاسما درون غلاف پلاسمایی است. نتایج به دست آمده نشان می دهد، با افزایش چگالی الکترونی میزان کانونی کنندگی میدان الکتریکی نانوساختار بیشتر می شود، لذا نانوساختارهای با نسبت نمود بالا تولید می شود. افزایش دمای الکترونی باعث کاهش بار نانوذرات و در نتیجه کاهش شار آن ها بر روی نانوساختار می شود. با افزایش چگالی تعداد و عدد ماخ نانوذرات، شار فرودی بر روی نانوساختارها و به تبع آن آهنگ رشد آن ها افزایش می یابد. به علاوه شار فرودی با افزایش ارتفاع و دوره تناوب میکروطرح رشد پیدا می کند. از یافته های حاضر می توان نتیجه گرفت که برای رسیدن به آهنگ نهشت بالا و نانوساختارهایی با نسبت نمود بزرگ، باید از یک پلاسمای چگال با دمای پایین و نانوذرات با سرعت فرودی بالا و میکروطرح با دوره تناوب نسبتا بزرگ استفاده نمود.
زبان:
فارسی
صفحات:
49 تا 60
لینک کوتاه:
magiran.com/p969551 
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 990,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
دسترسی سراسری کاربران دانشگاه پیام نور!
اعضای هیئت علمی و دانشجویان دانشگاه پیام نور در سراسر کشور، در صورت ثبت نام با ایمیل دانشگاهی، تا پایان فروردین ماه 1403 به مقالات سایت دسترسی خواهند داشت!
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 50 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!