Controlled synthesis of ordered two-dimensional microstructures in reactive high-density plasmas
Author(s):
Message:
Abstract:
This work’s aim is to investigate the dynamics of ions، electrons، and charged nanoparticles inside the dusty plasma sheath، in order to determine the appropriate conditions for the controlled and site selective deposition of plasma particles on a pre-patterned substrate of ordered microstructures. The approach used in this study، is the numerical simulation of the fluid equations، describing the dynamics of plasma particles inside the plasma sheath. The results obtained، show that the focusing effect of the electric field of nanostructures increases with the increasing of the electron number density، leading to the growth of high aspect ratio nanostructures. Increase in the electron temperature، results in the decreasing of the charge of nanoparticles، and consequently in the decreasing of the incident flux on the nanostructures. The enhancement of the number density and Mach number of the nanoparticles، leads to the enhancement of the flux on nanostructures and as a result their growth rate increases. Moreover، the incident flux grows with the increasing of the height and period of micro-pattern. From the present findings it can be concluded that to achieve high deposition rates and nanostructures with a large aspect ratio one should employ a high density، low temperature plasma، large impinging velocity of nanoparticles، and a micro pattern with a relatively large period.
Language:
Persian
Published:
Iranian Journal of Surface Science and Engineering, Volume:7 Issue: 12, 2012
Pages:
49 to 60
magiran.com/p969551  
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 990,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
دسترسی سراسری کاربران دانشگاه پیام نور!
اعضای هیئت علمی و دانشجویان دانشگاه پیام نور در سراسر کشور، در صورت ثبت نام با ایمیل دانشگاهی، تا پایان فروردین ماه 1403 به مقالات سایت دسترسی خواهند داشت!
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 50 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!