l. moloudzade
-
در این مقاله طراحی و شبیه سازی ساختار جدیدی از سوییچ میکرو ماشینی عمل کننده با شتاب، با قابلیت تنظیم برای شتاب موردنظر ارایه شده است. با استفاده از سوییچ پیشنهادی امکان سنجش شتابدر محدوده بین میلی جی (g) الی نود جی میسر گردیده است. جهت تنظیم شتاب موردنظر در بازه ذکر شده از دو تحریک الکترواستاتیک شانه ای و پیزوالکتریک استفاده شده است. از تحریک الکترواستاتیک شانه ای، به علت رنج خطی بالای آن و تحریک پیزوالکتریک به علت دقت بالای تنظیم سوییچ در شتاب های خیلی کم و عدم وجود پدیده پایین کش (pull in) بهره برده شده است. در ساختار پیشنهادی جهت جلوگیری از پدیده پایین کش از متوقف کننده در تحریک الکترواستاتیک استفاده شده است. در بخش تحریک پیزوالکتریک معادلات حاکم بر جابجایی ناشی از تحریک پیزوالکتریک استخراج شده است. بر اساس طراحی انجام گرفته رزولوشن ساختار حدود 15/0 جی است. ولتاژ آستانه پایین کش برای تحریک الکترواستاتیک شانه ای 50 ولت و حداکثر ولتاژ تنظیم تحریک پیزوالکتریک 85 ولت است. ساختار پیشنهادی بر اساس محاسبات انجام گرفته در نرم افزار اینتلیسویت (intellisuite) شبیه سازی شده و نمودارهای حاصل از شبیه سازی جهت صحت سنجی با نمودارهای حاصل از متلب مقایسه شده است.
کلید واژگان: سوئیچ، شتاب، سیستم های میکرو الکترومکانیک، قابل تنظیم، تحریک الکترواستاتیکIn this paper design and simulation of a new tunable acceleration MEMS switch is proposed. Using the proposed switch, it is possible to measure the accelerations in the range between milli-g and 90g. To tune the desired acceleration switching, two actuators are used. These actuators are electrostatic comb drive and piezoelectric actuator. The electrostatic comb drive actuator operates in high linear range and the piezoelectric actuator can measure very low accelerations without pull in phenomenon. In the structure, the stopper is used to avoid pull in phenomenon due to the electrostatic actuation. In the piezoelectric actuator section, the governing equations for the deflection due to piezoelectric actuation is extracted. Based on design, the resolution is about 0.15g. The pull in voltage of electrostatic comb drive actuator is 50 volt and maximum voltage tuning of piezoelectric actuator is 85 volt. To verify, the proposed structure is first calculated using matlab software and then simulated using intellisuite software.
Keywords: Acceleration switch, MEMS piezoelectric actuator, electrostatic actuator, tune pull in
- در این صفحه نام مورد نظر در اسامی نویسندگان مقالات جستجو می‌شود. ممکن است نتایج شامل مطالب نویسندگان هم نام و حتی در رشته‌های مختلف باشد.
- همه مقالات ترجمه فارسی یا انگلیسی ندارند پس ممکن است مقالاتی باشند که نام نویسنده مورد نظر شما به صورت معادل فارسی یا انگلیسی آن درج شده باشد. در صفحه جستجوی پیشرفته می‌توانید همزمان نام فارسی و انگلیسی نویسنده را درج نمایید.
- در صورتی که می‌خواهید جستجو را با شرایط متفاوت تکرار کنید به صفحه جستجوی پیشرفته مطالب نشریات مراجعه کنید.
©2000-2025 magiran.com All Rights Reserved.