ریز ماشینکاری PET با استفاده از لایه برداری شیمیایی در حضور

در این مقاله لایه برداری از زیرلایه پلی-اتیلن-ترفتالایت بصورت عمودی و در نواحی تعریف شده توسط حلال های خاص و در حضور اشعه ماوراء بنفش گزارش می شود. با توجه به عدم حل شدن این ماده بدون حضور UV امکان لایه برداری بصورت کاملا عمودی و بدون پدیده زیر- خوردگی عملی می باشد. ایجاد الگوهای پیچیده و بسیار کوچک توسط این تکنیک نوین عملی می باشد. نرخ لایه برداری بین 1 الی 8 میکرومتر بر دقیقه می باشد که بشدت به میزان اشعه ماوراء بنفش بستگی دارد. ساخت انواع ساختارهای مناسب برای تکنولوژی ریز ماشینکاری گزارش می گردد. چرخدنده های میکرومتری و ساختارهای اینتر-دیجیت که در ساخت شتاب سنج ها کاربرد دارند گزارش می گردد. با ترکیب این تکنیک با لایه نشانی الکتروپلیتینگ می توان به ساخت موتورها و شیرها- محرکه ها و حتی قطعات مورد استفاده در اپتیک دست یافت.