Surface statistical properties of ZnO thin films produced by magnetron sputtering at different rates
Author(s):
Abstract:
Nano layers of zinc, which were deposited by magnetron sputtering on Si (100) substrate, thermal oxidation exposed to the air at 400 °C, were employed to produce ZnO thin films. In order to study the influence of the deposition rate on surface morphology, samples with different deposition rates (1.2–4.5 nm/s) were produced. The surface characteristics of these ZnO thin films are then evaluated against data which result from Atomic Force Microscopy (AFM). The results demonstrate that the film deposited with higher rates has higher surface roughness and grain size. The fractal analysis illustrates that the roughness exponents (image) for all samples are close.
Language:
English
Published:
Scientia Iranica, Volume:20 Issue: 3, 2013
Pages:
1071 to 1075
magiran.com/p1164977
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یکساله به مبلغ 1,390,000ريال میتوانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
- حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران میشود.
- پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانههای چاپی و دیجیتال را به کاربر نمیدهد.
In order to view content subscription is required
Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!