طراحی و ساخت شبکه تطبیق امپدانس 13/56 مگاهرتز 600 واتی برای تشکیل پلاسمای فرکانس رادیویی

از آنجایی که محفظه ی پلاسما از نظر الکتریکی، باری متغیر با زمان محسوب می شود و امپدانس آن از ابتدای فرآیند تا انتهای آن ثابت نیست، لازم است که بین مولد فرکانس رادیویی و محفظه ی پلاسما از یک شبکه ی تطبیق امپدانس استفاده شود تا با اندازه گیری یک پارامتر مناسب مانند پارامتر VSWR و اعمال تغییر مناسب بر روی المان های شبکه ی تطبیق امپدانس، مولد فرکانس رادیویی در تمام طول فرآیند (با وجود تغییر بار الکتریکی محفظه) در خروجی خود، بار 50 اهم خالص را ببیند. در این فعالیت کار طراحی و ساخت یک شبکه ی تطبیق امپدانس با قابلیت انتقال توان 600 وات در فرکانس 56/13 مگاهرتز برای تطبیق بار الکتریکی محفظه ی پلاسما به امپدانس خروجی مولد فرکانس رادیویی انجام شده است. در جعبه ی تطبیق امپدانس طراحی شده، از یک شبکه نوع L که شامل دو خازن متغیر و یک سلف ثابت است، به عنوان شبکه ی تطبیق امپدانس، از یک اندازه گیر VSWR به عنوان حسگر تطبیق، از دو عدد موتور Servo به عنوان عملگر برای چرخاندن خازن های متغیر و از الگوریتم کمینه VSWR به عنوان الگوریتم تطبیق استفاده شده است.