طراحی و ساخت شبکه تطبیق امپدانس 13/56 مگاهرتز 600 واتی برای تشکیل پلاسمای فرکانس رادیویی
نویسنده:
چکیده:
از آنجایی که محفظه ی پلاسما از نظر الکتریکی، باری متغیر با زمان محسوب می شود و امپدانس آن از ابتدای فرآیند تا انتهای آن ثابت نیست، لازم است که بین مولد فرکانس رادیویی و محفظه ی پلاسما از یک شبکه ی تطبیق امپدانس استفاده شود تا با اندازه گیری یک پارامتر مناسب مانند پارامتر VSWR و اعمال تغییر مناسب بر روی المان های شبکه ی تطبیق امپدانس، مولد فرکانس رادیویی در تمام طول فرآیند (با وجود تغییر بار الکتریکی محفظه) در خروجی خود، بار 50 اهم خالص را ببیند. در این فعالیت کار طراحی و ساخت یک شبکه ی تطبیق امپدانس با قابلیت انتقال توان 600 وات در فرکانس 56/13 مگاهرتز برای تطبیق بار الکتریکی محفظه ی پلاسما به امپدانس خروجی مولد فرکانس رادیویی انجام شده است. در جعبه ی تطبیق امپدانس طراحی شده، از یک شبکه نوع L که شامل دو خازن متغیر و یک سلف ثابت است، به عنوان شبکه ی تطبیق امپدانس، از یک اندازه گیر VSWR به عنوان حسگر تطبیق، از دو عدد موتور Servo به عنوان عملگر برای چرخاندن خازن های متغیر و از الگوریتم کمینه VSWR به عنوان الگوریتم تطبیق استفاده شده است.
کلیدواژگان:
زبان:
فارسی
در صفحه:
25
لینک کوتاه:
magiran.com/p1231379
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یکساله به مبلغ 1,390,000ريال میتوانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
- حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران میشود.
- پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانههای چاپی و دیجیتال را به کاربر نمیدهد.
In order to view content subscription is required
Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!