دیود شاتکی برپایه ی نانوساختار اکسید روی با تماس آلیاژی AuGeNi

نویسنده:

خلیل اسلامی جهرمی* ، محمدحسین مجلس آرا

پیام:
نوع مقاله:
مقاله پژوهشی/اصیل (ترویجی)
چکیده:

در این مقاله مقاومت تماسی ویژه فلز آلیاژی AuGeNi با نانوساختار ZnO نوع n به کار رفته در دیود شاتکی با روش طرح TLM گزارش شده است. لایه نازک اکسید روی از طریق لایه نشانی چرخشی سل سنتز شده، روی زیرلایه سیلیکانی تهیه گردید. بیشینه جذبی سل تهیه شده در طول موج 290nm مشاهده شد و پهنای گاف نواری محاسبه شده 4.28eV بدست آمد. سپس لایه نازک آلیاژی AuGeNi با روش بخار فیزیکی پس از انجام مراحل لیتوگرافی نوری به صورت طرح TLM خطی روی نمونه لایه نشانی شد مشخصه یابی I-V با روش سنجش چهار پروبی انجام گرفت و اندازه گیری مقاومت تماسی ویژه از طریق نمودار مقاومت کل بین پدهای فلزی مجاور بر حسب فاصله جدایی آنها، میسر گردید. مقاومت تماسی ویژه 71.3Ω − cm2 و مقاومت صفحه ای 150Ω محاسبه شد.

کلیدواژگان:

نانوساختار ZnO ، سل ، ژل ، طرح TLM خطی ، طیف جذبی ، لیتوگرافی

زبان:
فارسی
انتشار در:
فصلنامه دنیای نانو، پیاپی 38 (بهار 1394)
در صفحه:
55
لینک کوتاه:
magiran.com/p1535759 
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 1,390,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
اطلاعات بیشتر
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!
More information