مقایسه میان حسگرهای هیدروژنی با ساختار خازنی با استفاده از لایه نازک نیکل و نانوذرات پالادیم برای نمایش غلظت 1% هیدروژن

در این مقاله دو حسگر هیدروژنی با ساختار خازن فلز- اکسید- نیمرسانا Pd/SiO2/Si و Ni/SiO2/Si ساخته شده اند. میزان جذب و واجدب گاز هیدروژن در نانوذرات پالادیم در فشارهای مختلف گزارش شده است. منحنی های ظرفیت-ولتاژ برای حسگر Pd/SiO2/Si در دمای اتاق و حسگر Ni/SiO2/Si در دمای °C 140 در حضور نیتروژن خالص و 1% هیدروژن-نیتروژن بررسی شده اند. نتایج نشان می دهند که برای حسگر Pd/SiO2/Si مدت زمان پاسخ دهی s 4/1 و برای حسگر Ni/SiO2/Si مدت زمان پاسخ دهی s 90 می باشد. مدت زمان برگشت پذیری برای حسگر بر اساس نانوذرات پالادیم s 14 است و برای حسگر بر اساس لایه نازک نیکل min 40 می باشد. همچنین مقایسه میان دو حسگر نشان می دهد که پاسخ دهی (R%) حسگر با ساختار نانوذرات پالادیم برابر 88% و حسگر با ساختار لایه نازک نیکل برابر 29% می باشد.