Design and Simulation of an Oblique Suspender MEMS Variable Capacitor
Author(s):
Abstract:
This paper presents the results on the development of a novel micromachined parallel plate tunable capacitor with a wide tuning range. Different from conventional parallel plate capacitors, this novel tunable capacitor consists of one suspended top plate, suspending with four oblique arms and one bottom fixed plate. These oblique arms increase the length of the cantilevers, in order to cause more deflection and, hence, increase the tuning range of the capacitor for constant bias voltage. Applying a DC voltage between two plates provides electrostatic actuation for capacitance tuning. According to electromagnetic simulation, a tuning range of 146% has been achieved with a 1.7 volt bias voltage. An empirical behavioral model is extracted from simulated y parameters of the structure.
Language:
English
Published:
Scientia Iranica, Volume:13 Issue: 1, 2006
Page:
60
magiran.com/p318794
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یکساله به مبلغ 1,390,000ريال میتوانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
- حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران میشود.
- پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانههای چاپی و دیجیتال را به کاربر نمیدهد.
In order to view content subscription is required
Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!