مقدمه ای بر سیستم های میکروالکترومکانیکال (MEMS)و کاربرد آن

نویسنده:

اکبر بشارتی

پیام:
چکیده:
امروزه محققین و دانشمندان زیادی در حال بررسی و توسعه طراحی و ساخت سیستمهای بسیار کوچک در حد نانو متر می باشند. مزیتها و تنوع کاربرد این سیستمها باعث پیشرفت و توسعه صنعتی این تکنولوژی در عرصه های مختلف شده است. یکی از این سیستمها، سیستم میکروالکترومکانیکال می باشد. همانطور که از نام این سیستم پیدا است این سیستم از ترکیب تکنولوژی های مختلف الکترونیکی و مکانیکی ایجاد می گردد. سیستمهای میکروالکترومکانیکال از یکپارچه سازی عناصر مکانیکی، سنسورها، عملگرها و عناصر الکترونیکی در یک لایه سیلیکونی با تکنولوژی ساخت نانو شکل می گیرند. در این مقاله سعی شده است ساختمان و نحوه عملکرد این سیستم مورد بررسی قرار گیرد و مثالهایی از کاربردهای متنوع این سیستم در عرصه های مختلف صنعتی، نظامی و پزشکی و غیره آورده شده است.
زبان:
فارسی
انتشار در:
مجله مهندسی مکانیک، پیاپی 49 (آبان 1385)
در صفحه:
15
لینک کوتاه:
magiran.com/p400151 
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 1,390,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
اطلاعات بیشتر
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!
More information