بررسی خواص فیزیکی لایه های نازک رسانا و شفاف اکسید ایندیم آلاییده به قلع برحسب ضخامت و دمای بازپخت در خلا

پیام:
چکیده:
لایه های نازک اکسید ایندیم آلاییده به قلع ITO) (با ضخامتهای مختلف nm620-130 بر زیرلایه های شیشه نازک به شیوه کندوپاش RF و با استفاده از هدف سرامیکی ITO (wt. In2O390% و wt. SnO210%) لایه نشانی و سپس در محیط خلا گرمادهی شدند. سرشتی های الکتریکی و اپتیکی نمونه های ITO، پیش و پس از گرمادهی در دماهای مختلف به وسیله یک سیستم اندازه گیری مقاومت چارسوزنی و طیف سنج UV/VIS/IR بررسی و مقایسه شدند. ساختار بلوری لایه های گرمادهی شده در دمای بهینه C ̊400 با آنالیز پراش پرتو ایکس XRD مورد مطالعه قرار گرفت. از آنالیز SEM نیز برای بررسی ساختار سطحی لایه بهینه بهره گرفته شد. بررسی نتایج حاصل از آنالیزها نشان می دهد که با افزایش ضخامت لایه ها و تغییر ساختار بلوری، سرشتی های الکتریکی و اپتیکی ماده، نظیر مقاومت سطحی، مقاومت ویژه، و شفافیت لایه ها تغییر می کند، به طوریکه لایه nm 130 با ضخامت کمتر در دمای C ̊400، دارای شفافیت 71/83%، و مقاومت ویژه mcΩ 4- 10 × 34/2 است. لایه nm620 با شفافیت 07/79%، در C ̊400 کمترین مقاومت ویژه mcΩ 4-10 × 1 ≈ را نشان می دهد که می توان آن را به عنوان لایه بهینه ضخیم با مقاومت سطحی □/Ω 6/1 برای کاربردهای مختلف معرفی کرد.
زبان:
فارسی
صفحات:
91 تا 98
لینک کوتاه:
magiran.com/p730487 
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 1,390,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!