تاثیر دمای زیرلایه بر روی خواص نانوساختاری لایه نیترید زیرکونیوم

در این تحقیق تاثیر دمای زیر لایه در محدودهC ̊450-100 برخواص ساختاری لایه های نیترید زیرکونیوم که به روش کندوپاش شعاع یونی روی زیر لایه شیشه وسیلیکون تهیه شده است، مورد بررسی قرار گرفته است. تعین ضخامت لایه ها با استفاده از آنالیز RBS (طیف پس پراکندگی رادرفورد) و تعیین فازهای کریستالی با توجه به آنالیز XRD (پراش پرتو X) انجام شده است. نتایج XRD نشان داد که با افزایش دما تا C ̊400 بر میزان بلوری شدن فاز نیترات زیرکونیوم افزوده شده ولی در دمای بالاتر، کاهش یافته است. در تمامی دماها جهت [111] فاز نیترات زیرکونیوم جهت ترجیحی است. نتایج RBS نشان داد که ضخامت لایهZrN در دماهای بالاتر نسبت به دمایC ̊100 افزایش یافته که می تواند به دلیل افزایش تشکیل مونومر های Zr-N برای تشکیل لایه وافزایش اندازه دانه باشد و نیز کاهش ضخامت در دمای ̊C 450 به افزایش چگالی لایه وکاهش اندازه دانه مربوط است.