فهرست مطالب

نشریه صنایع الکترونیک
سال یازدهم شماره 4 (پیاپی 44، زمستان 1399)

  • تاریخ انتشار: 1399/10/01
  • تعداد عناوین: 9
|
  • مریم عباسی، مهدی خواجه، علیرضا عرفانیان* صفحات 5-14
    اانتقال گرافن از یک زیرلایه فلزی به عایق، اغلب به عنوان گام اول در ساخت ادوات گرافنی به شمار می رود. به منظور دستیابی به عملکرد مناسب این نوع از قطعات، تمیز بودن سطح و پوشش حداکثری گرافن منتقل شده امری ضروری تلقی می گردد. در این مقاله انتقال به روش تر و تاثیرات هر مرحله بر روی کیفیت گرافن انتقالی مورد بررسی قرار گرفته است؛ همچنین دلایل ایجاد حفره و آلودگی در حین فرآیند انتقال مورد مطالعه واقع شده است. در این پژوهش از تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی به منظور مشاهده مورفولوژی سطحی گرافن استفاده شده است. با بهره گیری از روش ون در پاو و اندازه گیری مقاومت الکتریکی که به نوبه خود به درصد پوشش و مساحت آلودگی وابسته می باشد؛ کیفیت گرافن انتقال یافته مورد ارزیابی قرار گرفته است. نتایج حاصل به کمک طیف سنجی رامان که در آن قله های طیف ها بیان گر نقص های شبکه کربستالی و غلظت آلایش می باشد ، مورد تایید واقع گردیده است. نهایتا یک فرآیند بهینه با 95% پوشش و مقاومت 50±700 اهم بدست آمده است.
    کلیدواژگان: انتقال گرافن، پوشش بالا، مساحت آلودگی، مقاومت الکتریکی
  • مهسا فتحی، لیلا میکاییل زاده، علی توانا* صفحات 15-24

    در این مقاله حالت کپه ای و لایه نازک ترکیب نیمه هویسلر Pr-Ni-Bi بر اساس رهیافت ابتدا به ساکن نظریه ی تابعی چگالی، به منظور مطالعه ی ساختار الکترونی، مغناطیسی و خواص ترابردی مورد مطالعه قرار گرفته است. ساختارتعادلی بلوری برای دو فاز و محاسبه شده و نتیجه نشان می دهد این ترکیب در فاز پایدارتر وبا اعمال فشار هیدروستاتیکی برابر با -2.94GPa گذار از فاز به امکان پذیراست. همچنین در فاز گشتاور مغناطیسی کل سامانه بزرگتر است. چگالی حالت ها و ساختار نواری فاز نشان می دهند که ترکیب در این فاز رفتار نیم فلزی داشته و یک گاف به بزرگی 0.351eV در کانال اسپین اقلیت برروی سطح فرمی وجود دارد. ضریب سیبک و فاکتور توانی در دماهای 200، 300 و 400 کلوین و برای پتانسیل های شیمیایی مختلف محاسبه شده است. نتایج نشان می دهند این ساختار عملکرد ترموالکتریک متوسطی از خود نشان می دهد ولی این خواص در حالت لایه ی نازک بهبود قابل ملاحظه ای می یابند.

    کلیدواژگان: آلیاژهویسلر، لایه های نازک، ترمو الکتریک، نظریه ی تابعی چگالی، معادله ی بولتزمان
  • رمضان هاونگی* صفحات 25-38
    در سیستم های مدیریت باتری ، تخمین وضعیت شارژ (SOC) باتری بمنظور اطمینان از عملکرد و جلوگیری از شارژ و دشارژ زیاد از اهمیت بالایی برخوردار است. تخمین وضعیت شارژ باتری از اهمیت بالایی برای سیستم های مدیریت باتری لیتیوم یون به منظور اطمینان از عملکرد و جلوگیری از شارژ و دشارژ بیش از حد برخوردار است. تا کنون روش های مختلفی برای تخمین وضعیت شار باتری ارایه شده است. در اکثر این روش ها مشخصات آماری نویز پروسه و اندازه گیری معلوم فرض می شود. با وجود این، این مشخصات در کاربردهای واقعی نامشخص و حتی ممکن است با زمان تغییر کنند. با انتخاب نادقیق اطلاعات نویز پروسه و اندازه کیری، عملکرد فیلترها تحت تاثیر قرار گرفته و دقت تخمین وضعیت شارژ کاهش و حتی ممکن است به واگرایی منجر شود. برای رفع این مشکل، در این مقاله از فیلتر تطبیقی مقاوم جذر مکعبی برای تخمین وضیت شارژ باتری و از الگوریتم حداقل مربعات بازگشتی برای تخمین پارامترهای باتری استفاده شده است. روش پیشنهادی در کنار امتیاز کاهش هزینه محاسبات، دارای امتیازاتی نظیر سازگاری افزایش یافته دارد که به پایداری عددی بیشتر و عملکرد بهتر منتهی می شود. این بدان دلیل است که در روش پیشنهادی همه ماتریس های کواریانس منتجه مثبت معین باقی می مانند. بعلاوه روش پیشنهادی در مواجهه با اطلاعات از پیش دانسته شده نادرست نویزها و همچنین نویزهای غیر گوسی مقاوم است. برای ارزیابی عملکرد روش پیشنهادی، این روش با روش های کلاسیک تخمین وضعیت شار باتری مقایسه شده است. نتایج نشان دهنده عملکرد موثر روش پیشنهادی در مقایسه با سایر روش ها است.
    کلیدواژگان: باتری لیتیوم یون، تخمین وضعیت شارژ، فیلتر مقاوم، فیلتر کالمن مکعبی
  • هادی مهدی پور*، مهدی احمدی صفحات 39-48
    این مقاله بر طراحی کنترل کننده چندگانه برای سیستم های غیرخطی متمرکز است. در این مقاله برای انتخاب مدل های محلی و طراحی کنترل کننده های محلی به صورت همزمان الگوریتمی ارایه می شود که به دانش تجربی اولیه از سیستم وابسته نبوده و نیازی به استفاده از یک آستانه اولیه ندارد. برای طراحی کنترل کننده های محلی با ساختار ساده تناسبی-انتگرالی، در روش پیشنهادی دو معیار پایداری و عملکرد با یکدیگر تجمیع می شوند. از یک سو ساختار ساده کنترل کننده های محلی در روش پیشنهادی موجب سادگی کنترل کننده چندگانه جامع طراحی شده برای سیستم غیرخطی می شود. اما از طرف دیگر، به دلیل حضور انتگرال گیر در ساختار کنترل کننده های محلی، به هنگام کلیدزنی میان کنترل کننده های مختلف پدیده ضربه رخ می دهد که موجب جهش در سیگنال کنترل در لحظات کلیدزنی شده و عملکرد حلقه بسته را تحت الشعاع قرار می دهد. لذا برای برطرف کردن این موضوع، در این مقاله یک روش انتقال بدون ضربه میان کنترل کننده های محلی مورد استفاده قرار می گیرد که در آن با تغذیه کنترل کننده های غیرفعال با سیگنالی غیر از سیگنال خطا از جهش ناگهانی سیگنال کنترل به هنگام کلیدزنی جلوگیری می شود. برای بررسی روش ارایه شده، یک سیستم غیرخطی شبیه سازی شده است. نتایج حاصله نشان می دهند که روش بدون ضربه نتایج بهتری را در مقایسه با مراجع دیگر به هنگام انتقال میان نواحی کاری مختلف ارایه می دهد.
    کلیدواژگان: سیستم های غیرخطی، کنترل کننده چندگانه، انتقال بدون ضربه، معیار پایداری و عملکرد، معیار فاصله
  • الهام باقری، مژده مهدوی*، محسن معدنی صفحات 49-64
    اینترنت اشیاء بخش مهمی از زیرساخت تحقق شهر هوشمند است و پوشش دهی در شبکه اینترنت اشیا نقش بسیار اساسی در عملکرد آن ایفا می کند. پارامتر های مختلفی از جمله پهنای باند، توان ارسالی، نویز و شرایط محیطی در پوشش دهی شبکه اینترنت اشیا و میزان دریافت بسته های ارسالی موثر است. شبکه لورا (LoRaWAN) یکی از پروتکل های اصلی دوربرد توان پایین، ویژه اینترنت اشیاء است. پیاده سازی زیرساخت و ارایه راه حل های اینترنت اشیاء مبتنی بر فناوری لورا، پوشش دهی استفاده از اینترنت اشیاء و بهبود زیرساخت های ارتباطی از جمله توانمندی های نوین قابل ارایه در این حوزه است. هدف از این مقاله توصیف پارامترهای مورد نیاز برای بهبود عملکرد و افزایش پوشش دهی شبکه لورا است، برای این منظور در محیط مختلف نویزی، پارامترهای مختلف مانند پهنای باند و فاکتور گسترش، بررسی شده و تاثیر نویز به پوشش دهی و نرخ بیت به دست آمده است. در نهایت یک برنامه کاربردی مبتنی بر پارامترهای موردنظر اجرا شده و روشی کم هزینه، با پوشش زیاد و نرخ داده ثابت برای هوشمندسازی یک پارکینگ در شهر تهران بیان و شبیه سازی شده است.
    کلیدواژگان: شبکه لورا، اینترنت اشیا، خانه هوشمند، پوشش دهی شبکه
  • مرتضی محمدی شیرکلایی*، مجید جعفری صفحات 65-70
    این مقاله ، آنتن های پهن باند با قابلیت تنظیم پذیری در قطبش دایروی برای استفاده در لینک های ارتباطی پیشنهاد شده است. برای دستیابی به پهنای باند امپدانسی وقطبش دایروی نسبتا خوب، المانی پیشنهاد شده ست که دارای یک پچ هلالی شکل و دوخط تغذیه L-شکل می باشد. آنتن های پیشنهادی این قابلیت را دارند که می توانند با استفاده از یک سوییچ RF که در شبکه تغذیه قرار می گیرد، قطبش دایروی چپ-گرد یا راست-گرد ایجاد کنند. دو ساختار تحلیل و شبیه سازی شده اند. ساختار اول که یک آنتن منفرد می باشد و یک نمونه از آن نیز ساخته شد، دارای پهنای باند اندازه گیری شده امپدانسی 62% (S11<-10dB)و نسبت محوری 49% (AR<3dB) می باشد. ساختار دوم یک آنتن آرایه ای 2 عنصره با پچ هلالی شکل و تغذیه L-شکل می باشد. در این آرایه از روش تغذیه چرخش متوالی استفاده شده است. با توجه به نتایج شبیه سازی شده ارایه شده، پهنای باند امپدانسی و AR آنتن آرایه ای به ترتیب 67% (1.31-2.62GHz) و 60% (1.3-2.4GHz) بدست آمده که نسبت به آنتن واحد بیشتر هست. ماکزیمم گین آنتن آرایه ای حدود 10dB در پهنای باند موثر می باشد. این آنتن ها می توانند در لینک های ارتباطی، سیستم های شنود و فریب باندهای L و S استفاده شوند.
    کلیدواژگان: آنتن پچ هلالی شکل، تغذیه L-شکل، قطبش دایروی، تنظیم پذیر
  • غلامرضا مرادی* صفحات 71-78
    این مقاله با استفاده از ساختار میکرواستریپ چند لایه، یک روش اندازه گیری ضریب عایقی را ارایه می کند. همچنین، مدل سازی و تحلیل ساختار پیشنهادی را ارایه می دهد. روش به کار رفته بلوک های جدیدی را در مدل میکرواستریپ چند لایه معرفی می کند، که می تواند نتایج دقیق تری ایجاد کند. این بلوک ها، برای مدل سازی تاثیر لایه های مختلف خط انتقال از جمله ماده مورد آزمایش و لایه های دیگر است. در اینجا ، یک کیت اندازه گیری مسطح چند لایه برای استخراج پارامترهای دی الکتریک مواد مختلف ارایه شده است. این کیت اندازه گیری می تواند میزان پرمیتیویته نسبی و همچنین تانژانت تلفات دی الکتریک را اندازه گیری کند. علاوه بر این، این کیت می تواند برای مشخصه گذاری دی الکتریک های جامد و مایع مورد استفاده قرار گیرد. اندازه گیری برای فرکانس 2 گیگاهرتز طراحی و ساخته شده است، اگرچه می تواند فرکانس های بالاتر را هم پوشش دهد. مود غالب و مودهای مرتبه بالاتر رزوناتور برای اندازه گیری پارامترهای ماده، در طیف وسیعی از فرکانس قابل استفاده است. نتایج تحلیلی، شبیه سازی و اندازه گیری نشانگر توافق خوب با یکدیگر است که صحت روال پیشنهادی را تایید می کند.
    کلیدواژگان: اندازه گیری غایق، اندازه گیری مایکروویو، خواص مواد، ضریب کیفیت، مدل تحلیلی
  • محمدحسین استوارزاده راوری* صفحات 79-84

    در این مقاله یک آنتن شکافی حفره ای در فناوری موجبر فاصله هوایی پیشنهاد شده است. برای افزایش پهنای باند آنتن یک اختلال مثلثی در دو گوشه حفره ریج در فناوری موجبر فاصله هوایی ایجاد شده است. اختلال باعث انحراف فرکانس تشدید مودهای TM100 و TM010 حفره از هم می شود. سپس بمنظور ایجاد عملکرد تشعشعی یک شکاف در صفحه فلزی بالایی حفره مربعی تعبیه می شود. حفره توسط یک موجبر فاصله هوایی ریج که با یک گذر پله مانند به دهانه WR62 متصل شده است تغذیه می شود. با استفاده از شبیه سازی توسط نرم افزار HFSS ابعاد و محل شکاف و ابعاد اختلال و گذر ذکر شده بهینه می شوند. نتایج شبیه سازی نشان دهنده پهنای باند حدود 10 در صد برای S11

    کلیدواژگان: آنتن شکافی، حفره، اختلال، افزایش پهنای باند، موجبر فاصله هوایی
  • مینو لبیبی، کرمان مهدیه مهران* صفحات 85-96
    در این مقاله یک میکروسنسور شیب خازنی جدید مبتنی بر مایعات، طراحی، تحلیل و شبیه سازی شده است. میکروسنسور طراحی شده، شیب را حول یک محور (X-axis) اندازه گیری می کند. ساختار اصلی این سنسور استوانه ای شکل بوده و دارای سه خازن با صفحات موازی می باشد. صفحات خازن های ساختار بر روی قاعده های استوانه قرار دارند و فاصله ی بین آنها به نسبت مساوی، با روغن سیلیکون و هوا پر شده است. این خازن ها دارای یک صفحه مشترک هستند که بر روی یکی از قاعده های استوانه قرار دارد. صفحات دیگر و فواصل بین آنها، قطاع هایی 60 درجه از دایره اند که بصورت یک در میان درون یک دایره و بر روی قاعده دیگر قرار گرفته اند. خروجی این سنسور (out) بصورت تابعی از خازن های ساختار تعریف شده است. با چرخش استوانه حول محور X و بدلیل افقی ماندن سطح روغن درون محفظه، موقعیت صفحات نسبت به روغن، تغییر کرده و منجر به تغییر خازن های ساختار و در نتیجه تغییر out می شود. با یک تحلیل دقیق، تاثیر تغییرات زاویه بر خازن های ساختار و خروجی، بدست آمده و با استفاده از نرم افزار MATLAB، بر حسب زاویه ترسیم شدند. این ساختار با کمک نرم افزار Multiphysics COMSOL نیز شبیه سازی شده است، که نتایج حاصل از شبیه سازی و تحلیل موید یکدیگرمی باشند. میکروسنسور خازنی طرح شده شیب را در بازه ی (°0 تا °360) با حساسیت   8.011fF/deg اندازه گیری می کند.
    کلیدواژگان: MEMS، سنسور شیب، میکرو سنسور، دی الکتریک مایع، Multiphysics COMSOL
|
  • Maryam Abbasi, Mahdi Khaje, Alireza Erfanian * Pages 5-14
    Graphene transfer from a metal substrate to the dielectric one is often the first step in graphene device fabrication. in order to achieve the proper performance of these devices surface cleanliness and maximum coverage of transferred graphene are crucial. In this paper wet transfer method and the effects of each stage of the process on transferred graphene quality have been investigated and also the reasons of tear formation and contamination during transfer process have been studied. In this research scanning electron microscopy images has been employed because of graphene surface morphology observation. by applying van der pauw method and measuring electrical resistance which itself depends on coverage percentage and contamination area , the quality of transferred graphene has been evaluated. The results are confirmed by raman spectroscopy in which spectra peaks display crystalline network defects and doping concentration. Finally an optimal process with 95% coverage level and 700 ± 50 ohm electrical resistance has been presented.
    Keywords: Graphene Transfer, High coverage, Pollution area, Electrical Resistance
  • Mahsa Fathi, Leila Mikaeilzadeh, Ali Tavana * Pages 15-24

    In this paper, bulk and thin-film structures of the semi-Heusler Pr-Ni-Bi compound is investigated based on the ab initio density functional theory approach, to study the electronic structure, magnetism, and transport in these systems. Equilibrium crystal structures are obtained for the  and  phases which shows that the  phase is more stable and the application of -2.94GPa hydrostatic pressure causes a phase transition from the  phase to the  phase. Also, in the  phase, the magnetic moment of the system is larger. The calculated density of states and band structure for the  phase shows that the system has a half-metallic behavior and an energy gap equal to 0.351eV appears on the Fermi level, in the spin minority channel. The Seebeck coefficients and power factors are calculated for 200, 300 and 400 Kelvin temperatures and various chemical potentials. Results show that this compound has a moderate thermoelectric performance in the bulk structure which is notably enhanced in the thin film.

    Keywords: Heusler alloys, Thin-films, Thermoelectric, Density functional theory, Boltzmann equation
  • Ramazan Havangi * Pages 25-38
    In Battery Management Systems (BMS), State of charge of Battery (SOC) estimation is very important to ensure performance and to prevent overcharging and discharging. So far, various methods have been presented to estimate state of charge of Battery. In most of these methods, the statistical characteristics of process noise and measurement are assumed to be known. By choosing the wrong statistical characteristics of process noise and measurement, the performance of the filters is affected and the accuracy of the charging state estimation is reduced and may even lead to divergence. To solve this problem, in this paper, adaptive robust square-root cubature filter is used to estimate state of charge of battery and the least squares recursive algorithm is used to estimate the battery parameters. The proposed method, along with the benefits of reducing computational cost, has advantages such as increased compatibility leading to greater numerical stability and better performance. This is because in the proposed method, all variance matrices remain positive definite. In addition, the proposed method is robust to inaccurate noise information as well as non-Gaussian noise. To evaluate the performance of the proposed method, this method is compared with the classical methods. To evaluate the performance of the proposed method, this method has been compared with the classical method of estimating the state of charge of a battery. The results show the effective performance of the proposed method compared to the other methods.
    Keywords: Lithium-ion Battery, State of Charge estimation, Robust filter, square-root cubature Kalman filter
  • Hadi Mahdipour *, Mahdi Ahmadi Pages 39-48
    This paper focuses on designing multiple-controller for nonlinear dynamic systems. An algorithm is proposed that integrates two stages of selecting the nominal local models and designing the local controllers. The proposed algorithm does not need to a priori knowledge about the system and a prior experience to choose the gridding threshold. In order to design the local controllers, the stability and performance criteria are integrated and the local controllers have a simple Proportional-Integral (PI) structure. Although the simple local PI controllers lead to have a simple global multiple-controller, but the bump phenomenon occurs when switching between the active local controller in the closed-loop and another controller in the off-line controllers set waiting to take over the control loop. In order to solve the lift-off and landing issues by switching among different local controllers, a linear quadratic bumpless transfer method is used in the closed-loop. The off-line local controllers were not fed by the error signal to have a bumpless switch. Therefore, the proposed multiple-controller design method provides support to have a gentle switch among different local controllers. To evaluate the proposed method a nonlinear CSTR is simulated. The simulation results demonstrate the success of the proposed method in set-point tracking with a smooth control signal in comparison with the opponents.
    Keywords: nonlinear systems, Multiple Controller, Bumpless Transfer, Stability, Performance criteria, Gap Metric
  • Elham Bagheri, Mojdeh Mahdavi *, Mohsen Madani Pages 49-64
    The Internet of Things (IoT) is an important part of realizing the smart city and the network coverage of IoT plays a crucial role in this regard. Various parameters such as bandwidth, transmission power, noise and environmental conditions are effective in IoT network coverage. The LoRaWAN is one of the main low-power long-distance protocols for the IoT communication. Implementing the infrastructure, providing IT solutions based on LoRa technology, and securing communication infrastructure are among the capabilities offered in this area. The purpose of this article is to describe the parameters needed to improve performance and increase LoRaWAN coverage. Accordingly, different bandwidth and broadcast factor parameters are tested in the noisy environment and the noise impact on the coverage and bit rate are achieved. Finally, a parameter-based application is implemented and a low-cost, high-coverage, and fixed data rate method is discussed and simulated to make a parking lot intelligent in Tehran.
    Keywords: Internet of Things (IoT), smart city, network coverage, LoRaWAN
  • Morteza Mohammadi Shirkolaei *, Majid Jafari Pages 65-70
    In this paper, broadband antennas with reconfigurable capability in circular polarization are presented for use in communication links. To achieve the impedance bandwidth and its relatively good circular motion, a German has been proposed that has a falcate patch and two L-shaped probes for feed lines. The proposed antennas can create a left-hand or right-hand circular polarization using an RF switch located in the feeding network. The two structures are analyzed and simulated. The first structure, which is a single antenna and a sample of which was made, has a measured impedance bandwidth 62% (S11 <-10dB) and 3dB axial ratio 49% (AR <3dB). The second structure is an array antenna 1*2 with two falcate patches, four L-shaped probes, and two Wilkinson power dividers. In this array, sequential rotation feeding networks used for enhancement axial ratio bandwidth. According to the simulated results, the impedance bandwidth and AR of the array antenna are 67% (1.31-2.62GHz) and 60% (1.3-2.4GHz), respectively, which is wider than the single antenna. The maximum gain of the array antenna is 10dB in effective bandwidth. These antennas can be used in communication links, electronic support measurement, jamming systems in L and S bands.
    Keywords: Falcate patch antenna, L-shaped probe, Circular polarization, reconfigurable
  • Gholamreza Moradi * Pages 71-78
    This paper develops a permittivity measurement method using a multilayer microstrip structure. It provides modeling and analysis of the proposed structure. The employed method introduces new blocks in the multilayer microstrip model, which can cause more accurate characterization results. These blocks are for modeling the effect of different layers of the transmission line including the material under test and the other layers. Here, a multilayer planar measurement kit is provided for extracting the dielectric parameters of different materials. This measurement kit can measure relative permittivity as well as loss tangent for dielectrics. In addition, this kit can be used for characterization of solid and liquid dielectrics. The measurement setup is typically designed and fabricated for 2 GHz frequency, although it can cover higher frequencies e.g. X bands. The dominant mode and the higher order modes of the resonator can be used for measuring material parameters, in a wide range of frequency. The analytic, simulation and measurement results illustrate good agreement with each other, which confirms the accuracy of the proposed routine.
    Keywords: Dielectric measurement, Material properties, Microwave measurements, Permittivity, Resonators
  • MohamadHossein Ostovarzadeh Ravari * Pages 79-84

    In this paper a cavity backed slot antenna (CBSA) has been designed and fabricated in ridge gap waveguide technology. To increase the bandwidth of cavity backed slot antenna, two perturbations have been made at to corners of the RGW cavity. The perturbations cause to deviation of resonance frequencies of two degenerate TM100 and TM010 modes . The slot is embedded at the optimum place on the top plate of RGW cavity to create the radiation performance. The cavity is fed by a RGW which has been connected to WR62 waveguide port via staircase transition. parametric study is done to obtain optimum dimensions and position of slot, perturbation and transition using HFSS software. The simulation results show about 10 % bandwidth for S11

    Keywords: Slot Antenna, Cavity, Perturbation, Bandwidth Enhancement, Gap Waveguide
  • Minoo Labibi, Mahdiyeh Mehran * Pages 85-96
    In this paper, a new capacitive tilt micro-sensor based on the liquid is designed, analyzed and simulated. This sensor has a cylindrical structure and parallel plates of its capacitors are formed on the two ends of cylinder. Distance between plates is filled equally with the Silicone oil and air. Proposed micro-sensor measures the slope around x-axis. There are three capacitors in the structure of the sensor which have a common plate while other three plates are 60ᵒ sectors of a circle which lie in 60ᵒ apart in a circle. Output of this sensor (out) is defined as a special function of structural capacitors. When cylinder rotates around x-axis, the Silicone oil level remains horizontally while position of the plates with respect to the oil varies. Meanwhile this occurrence changes structural capacitors and consequently (out). In this paper, with a detailed analysis, effect of tilt application to the sensor and its capacitances is drawn using MATLAB. Moreover this structure has been simulated using COMSOL Multiphysics. Obtained simulation and analytical results are in good agreement with each other. Proposed tilt micro-sensor measures the deflection between 0 ° to 360 ° with the sensitivity of 8.011 fF/deg.
    Keywords: MEMS, Tilt sensor, micro-sensor, Liquid dielectric, COMSOL Multiphysics