استخراج مدل دینامیکی ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS ساختار پیوسته و حل آن با اعمال نیروی هارمونیک

ژیروسکوپ های MEMS ساختار پیوسته، همانند ژیروسکوپ های MEMS جرم متمرکز برمبنای نیروی کوریولیس عمل می کنند. در این مقاله ژیروسکوپ های ارتعاشی MEMS با رزناتور حلقوی مورد بررسی قرار گرفته اند. تا کنون اشکال متفاوت دایروی و ستاره ای 8 پر برای رزوناتور این ژیروسکوپ ها پیشنهاد شده است. در مقاله حاضر این مدل ها در نرم افزار ABAQUS تحلیل و مدل جدید ستاره ای 16 پر پیشنهاد شده است. همچنین، دینامیک ژیروسکوپ حلقه ای با پره به کمک حلقه خالص (ایده آل بدون پره) تخمین زده شده است. به کمک نرم افزار ABAQUS فرکانس مود کاری رزناتور استخراج و با مقایسه با فرکانس تحلیلی مستخرج از حل معادله دینامیکی صحت سنجی شده است. در انتها نیز پاسخ معادلات سامانه از روش گالرکین با وجود اعمال نیروی ورودی هارمونیک با دامنه ثابت ارائه شده است.