تاثیر پرتو لیزر اگزایمر ArF بر روی پلی مر آلیل دی گلیکول کربنات

در این مقاله تاثیر پرتو فرابنفش لیزر اگزایمر ArF با طول موج 193 نانومتر بر روی  پلی مر آلیل دی گلیکول کربنات (39CR-) بررسی شده است. ابتدا پلی مرها به سه دسته تقسیم شدند. دسته ی اول، زیر آستانه ی نورکندگی و دسته ی دوم، بالای آستانه ی نورکندگی، با تعداد تپ های متفاوت لیزر ArF پرتودهی شدند. دسته ی سوم ابتدا زیر آستانه ی نورکندگی با لیزر ArF و سپس با ذره های آلفای گسیلیده از Am241 پرتودهی و سپس به طور شیمیایی در محلول آبی سدیم هیدروکسید 25/6 مولار سونیده شدند. برای بررسی تغییر در ریخت شناسی سطح پلی مر، از میکروسکوپی الکترون پویشی (SEM) و برای تحلیل و بررسی ردپاهای ذره های آلفای ثبت شده در پلی مر آلیل دی گلیکول کربنات از میکروسکوپ نوری استفاده شد. نتیجه ها نشان داد که ساختارهای کرم مانند و تعدادی مخروط بر اثر پرتودهی لیزری روی سطح پلی مر ایجاد می شود. هم چنین مشاهده شد که قطر میانگین ردپاها کاهش می یابد. بنابراین لیزر باعث سخت شدن سطح آشکارساز می شود.