آنالیز حساسیت کلی پارامترهای نانوماشینکاری با استفاده از میکروسکوپ روبشی حرارتی دینامیکی

در این تحقیق آنالیز حساسیت کلی پارامترهای نانوماشینکاری با استفاده از میکروسکوپ روبشی حرارتی دینامیکی مورد مطالعه قرار می گیرد. بدین منظور مقطع یک نمونه نانوماشینکاری شده با جاروب کردن تیپ با شعاع های مختلف بر روی پاسخ ارتعاشی کل سیستم در سرعت و دماهای متفاوت شبیه سازی می شود. نشان داده می شود که با افزایش دما، عمق نانوماشینکاری کاهش و با افزایش شعاع تیپ، عمق نانوماشینکاری افزایش می یابد. همچنین اظهار می گردد که با افزایش سرعت حرکت پروب، صافی سطح نهایی نانوماشینکاری کاهش می یابد. سپس شاخص های سوبول برای میانگین عمق و صافی سطح نهایی نانوماشینکاری مورد بررسی قرار می گیرد. نشان داده می شود که، بر روی میانگین عمق نانوماشینکاری تنها دما و شعاع تیپ اثر داشته و اثرات سرعت حرکت پروب و برهمکنش بین پارامترها ناچیز می باشد. همچنین اظهار می شود، علاوه بر تاثیر قابل توجه هر 3 پارامتر بر روی صافی سطح نهایی نانوماشینکاری، برهمکنش بین این پارامترها بسیار اثرگذار می باشد. سپس شاخص های کل و شاخص های سوبول با یکدیگر مقایسه می گردند. بیان می شود، میزان شاخص های کل نسبت به شاخص های سوبول در رابطه با صافی سطح نهایی نانوماشینکاری به طور قابل توجهی بیشتر می باشد. در رابطه با میانگین عمق نانوماشینکاری، شاخص های کل و شاخص های سوبول برای دو پارامتر دما و شعاع تیپ تقریبا با هم برابرند و اثرات سرعت حرکت پروب بر روی عمق نانوماشینکاری بسیار ناچیز می باشد.