مشخصه یابی پوشش های سخت Me (SiCN) (فلزات واسطه =Me) و تاثیر آنها در بهبود عملکرد زیرآیند

طول عمر و کارایی تجهیزات صنعتی، عمدتا به ساختار و نحوه عملکرد آنها در محیط های مهاجم وابسته است. به همین منظور، حفاظت از سطح تجهیزات از اهمیت بالایی برخوردار است. در دهه های اخیر، پوشش های سخت چند جزیی به شدت مورد توجه جوامع علمی و صنعتی قرار گرفته است. تاکنون، انواع مختلفی از پوشش های چند جزیی بر پایه فلزات واسطه، همچون کرم، تیتانیم و فلزات واسطه دیرگداز، به طور گسترده برای استفاده به عنوان پوشش های محافظ مورد استفاده قرار گرفته اند. با این حال، دیگر اجزای تشکیل دهنده پوشش های بر پایه فلزات مذکور (به عنوان مثال کربن، نیتروژن و سیلیکون)، ریخت شناسی سطح و اندازه دانه ها، نقش بسیار مهمی در خواص و کاربرد آنها خواهد داشت. به عنوان مثال پوشش های دو جزیی نیتریدی نمی توانند عملکرد خوبی در شرایط سایشی داشته باشند، در حالی که پوشش های دو جزیی کاربیدی کاندید های قابل توجهی برای این شرایط هستند. با این حال، پوشش های نازک سه جزیی کربو نیترید، می توانند خواص مکانیکی و عملکرد سایشی و اصطکاک بهتری را نسبت به پوشش های دو جزیی ارایه دهند. از سوی دیگر، برخی از خواص پوشش های مبتنی بر فلزات واسطه مانند مقاومت در برابر اکسیدشدن، تنش پسماند و عملکرد اصطکاکی را می توان با دوپ کردن سیلیکون (Si) به میزان قابل توجهی بهبود بخشید.