طراحی ساختار مغناطیسی یک کاتد کندوپاش مگنترون با استفاده از شبیه سازی میدان مغناطیسی و بررسی نرخ لایه نشانی

نویسنده:

مصطفی سلحشور ، کوروس حمزه ، علی اصغر زواریان

پیام:
چکیده:
در این مقاله با بهینه سازی پیکربندی اجزای مغناطیسی کاتد کندوپاش مگنترون تخت گرد توسط نرم افزار اجزای محدود ANSYS، یک طرح جدید برای چیدمان قطعات مغناطیسی کاتد پیشنهاد شده است. در این طرح با مایل قرار دادن آهنربای کناری نسبت به سطح هدف و بکارگیری یک مهار در زیر آن، خطوط شار مغناطیسی در ناحیه نسبتا وسیعی در بالای هدف موازی سطح آن شده است. علاوه بر این، یک نمونه کاتد بر اساس این طراحی ساخته و پارامترهای عملکردی آن اندازه گیری شده است. این پارامترها شامل بازدهی مصرف هدف و نرخ لایه نشانی است که در فشار 50 میلی تور و توان 1 کیلووات به ترتیب مقادیر 56 درصد و 16 نانومتر بر ثانیه برای آنها بدست آمد.
کلیدواژگان:

کاتد کندوپاش مگنترون ، شبیه سازی میدان مغناطیسی ، بهینه سازی میدان مغناطیسی ، بازدهی مصرف هدف

زبان:
فارسی
انتشار در:
فصلنامه علوم و مهندسی سطح ایران، پیاپی 11 (تابستان 1390)
صفحات:
77 تا 85
لینک کوتاه:
magiran.com/p900612 
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یک‌ساله به مبلغ 1,390,000ريال می‌توانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
اطلاعات بیشتر
توجه!
  • حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران می‌شود.
  • پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانه‌های چاپی و دیجیتال را به کاربر نمی‌دهد.
In order to view content subscription is required

Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!
More information